半导体工业空气过滤器的必要性

作者： 来源： 发布时间：2013-07-31

　　中国正处在新一轮芯片厂建设狂热中，为此，今后几年国内需要数亿元的高效过滤器和精密空气过滤器，如果国内过滤器商家像以往那样只热衷于抄袭、猜疑、各顾各地瞎忙活，不在技术上进取、不相互交流，芯片厂这个难得的市场将属于外来者。粘在集成电路上粉尘可能造成断路、短路，粉尘直接影响产品的成品率。当今，半导体工业(芯片厂)对生产环境空气洁净程度高挑剔，对空气过滤器的要求也最苛刻。rUE过滤器

　　空气中海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘颗粒比较大，普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业理想地点应该远离海岸，可沿海地区经济发达，芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区，在过滤器上多花点钱就是了。rUE过滤器

　　深圳活性炭过滤器的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零，你想要多干净都能达到。当芯片上的线宽小到0.5mm时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，在线宽小于0.5mm的芯片厂空调系统中普遍配置了精密空气过滤器。精密空气过滤器的原理和制造工艺并不复杂，它就是活性炭过滤器，但传统的活性炭过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车，芯片厂的化学过滤器大都是空调过滤器的制造厂家提供的。rUE过滤器

　　化学污染物的来源可能是：室外空气、工艺本身、人、装修材料。多数情况下，设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度，因此，为他们提供的化学过滤器至少应具有两个特点：广谱吸附性能、足够多的活性炭材料。所谓广谱吸附就是对什么都能多少吸附些，能有这种功能的就是最普通、最便宜的颗粒活性炭。如果能确定污染物种类，就可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理，以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务，以帮助用户确定化学过滤器的使用情况，这就要求供应商中有搞化学过滤的专家，并与名气大的化学实验室有密切的关系。遗憾的是，国内过滤器厂商没有几家在那上面下功夫，所以国内芯片厂目前使用的化学过滤器多数是进口产品。rUE过滤器

　　半导体工业并非人们普遍认为的“无烟工业”，它也有环境问题。那里经常采用最新的工艺和材料，有些化学物品在其安全性尚未得到评估前就已经大量使用了，稍不小心就会造成严重的化学污染，既有地下水污染，也有空气污染，硅谷就曾为此付出过惊人的代价。为了保险，有些企业在排风系统中也使用化学过滤器。rUE过滤器

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